一种多腔室磁控溅射连续镀膜机2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117737675 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202410117898.4 (22)申请日 2024.01.26 (71)申请人 东莞市德派精密机械有限公司 地址 523000 广东省东莞市东城街道东城 科技工业园东科路38号硅谷动力2025 科技园A9栋2楼 (72)发明人 杨逑　刘浩然　严胜山　夏祥权　 (74)专利代理机构 广东科言知识产权代理事务 所(普通合伙) 44671 专利代理师 卢斌 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种多腔室磁控溅射连续镀膜机 (57)摘要 本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是指一 种多腔室磁控溅射连续镀膜机，包括镀膜设备以 及送料单元，所述送料单元包括上料机器人、上 料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输 机构以及下料机构，上料机器人位于上料架、下 料架、取料传输机构以及镀膜设备之间；上料机 构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构 以及下料机构构成用于传输板件的传输回路。本 发明通过让上料机构、第一传输机构、取料传输 机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输 板件的传输回路，使得板件在经过上一工艺加工 后可直接在送料单元之间流转，从而达到了有效 A 板件各工艺之间的加工时间，有利于提升