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发明

一种生瓷复合材料及用其制备晶圆搬运臂的制备方法2024

2023-10-13 07:19:58 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202310852247.5
  • 公开（公告）日：2024-10-29
  • 公开（公告）号：CN116854467A
  • 申请人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：发明提供了一种生瓷复合材料及用其制备晶圆搬运臂的制备方法，生瓷复合材料包括：包括粘结剂、烧结助剂、增塑剂、分散剂、陶瓷粉末，其中，粘结剂包括P溶剂和O溶剂，P溶剂的含量为1wt％‑1.5wt％，粘度为60cps‑70cps，O溶剂的含量为3wt％‑6.5wt％，粘度不小于4800cps，烧结助剂的含量为3.5wt％‑5wt％，增塑剂的含量为2wt％‑10wt％，分散剂的含量为2wt％‑4wt％，其余部分为陶瓷粉末，本申请提供的生瓷复合材料硬度高、抗氧化性强，耐磨性强，制备的晶圆搬运臂可靠性高。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116854467 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202310852247.5 (22)申请日 2023.07.12 (71)申请人 江西兆驰半导体有限公司 地址 330000 江西省南昌市高新技术产业 开发区天祥北大道1717号 (72)发明人 赵元亚　崔思远　文国昇　金从龙　 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通合伙) 11201 专利代理师 徐超 (51)Int.Cl. C04B 35/48 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/64 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 (54)发明名称 一种生瓷复合材料及用其制备晶圆搬运臂 的制备方法 (57)摘要 发明提供了一种生瓷复合材料及用其制备 晶圆搬运臂的制备方法，生瓷复合材料包括：包 括粘结剂、烧结助剂、增塑剂、分散剂、陶瓷粉末， 其中，粘结剂包括P溶剂和O溶剂，P溶剂的含量为 1wt％‑1.5wt％，粘度为60cps‑70cps，O溶剂的含 量为3wt％‑6.5wt％，粘度不小于4800cps，烧结 助剂的含量为3 .5wt％‑5wt％，增塑剂的含量为 2wt％‑10wt％，分散剂的含量为2wt％‑4wt％，其 余部分为陶瓷粉末，本申请提供的生瓷复合材料 硬度高、抗氧化性强，耐磨性强，制备的晶圆搬运 臂可靠性高。 A 7 6

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