基材表面进行类金刚石硬度处理的方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117737651 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202311472037.X (22)申请日 2023.11.07 (71)申请人 东莞市安合鑫光电科技有限公司 地址 523000 广东省东莞市长安镇上角民 兴一路3号101室 (72)发明人 刘腾　魏崴　朱伟　许润生　 (74)专利代理机构 东莞磐程知识产权代理事务 所(普通合伙) 44835 专利代理师 王科 (51)Int.Cl. C23C 14/10 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) C03C 17/42 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 (54)发明名称 基材表面进行类金刚石硬度处理的方法 (57)摘要 本发明涉及一种基材表面进行类金刚石硬 度处理的方法，包括以下步骤：(1)预处理：将待 处理基材进行清洗后烘干；(2)在基材上形成底 膜层，该底膜层包括数层介质光学膜层，所述底 膜层的厚度为50‑3500纳米，工作压力为1.5* 10E‑4Pa ，工作温度为80‑120℃。本发明的优点 是：通过在基材的表面涂布多层光学膜层和类金 刚石膜层，使之与类金刚石的热膨胀系数接近， 降低内应力的影响，提高类金刚石与基材表面的 结合力，提高屏幕的硬度降低表摩