一种脉冲镀铜的镀液及其制备方法和脉冲镀铜的方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117888152 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202311675865.3 (22)申请日 2023.12.07 (71)申请人 中山博美新材料科技有限公司 地址 528400 广东省中山市民众镇沙仔村 平一路7号E、F栋 (72)发明人 杜腾辉　谭文灵　卢文信　 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 专利代理师 罗新 (51)Int.Cl. C25D 3/38 (2006.01) C25D 5/18 (2006.01) C25D 7/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种脉冲镀铜的镀液及其制备方法和脉冲 镀铜的方法 (57)摘要 本发明公开了一种脉冲镀铜的镀液及其制 备方法和脉冲镀铜的方法，其镀液包括铜盐、硫 酸、氯离子、承载剂、光亮剂、启动剂和开缸剂；所 述承载剂包括聚氧乙烯丙烯聚醚基础油5 ‑ 15wt ％；所述光亮剂包括含硫有机磺酸盐 1.0wt％～5.0wt％；所述启动剂包括高分子聚醚 类有机物15‑25wt％；所述开缸剂包括聚氧乙烯 丙烯聚醚基础油20‑30wt％。本发明的镀液具有 改善孔铜和表面铜厚度的电镀分布，COV均匀性 和TP深镀能力好。本发明的镀液的镀铜表面光亮 平整，无铜粒，具有良好延展性和抗热冲击性能 A 好。 2 5 1 8 8 8 7 1