一种透射电镜载网网格阵列批量化制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118064856 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410168665.7 (22)申请日 2024.02.06 (71)申请人 北京大学 地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号 (72)发明人 彭海琳　赵效乐　高啸寅　郑黎明　 (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限 公司 11245 专利代理师 任晓云 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种透射电镜载网网格阵列批量化制备方 法 (57)摘要 本发明公开了一种透射电镜载网网格阵列 批量化制备方法，属于材料领域。本发明的方法 包括在硬质衬底表面溅射一层金属薄膜基底后， 利用光刻构筑周期性的光刻胶软模板阵列为掩 膜，再通过电镀构筑透射电镜载网网格格栅阵列 结构，最后去除所述周期性的光刻胶软模板阵列 与金属薄膜基底，得到所述透射电镜载网网格阵 列。本发明的方法解决了国内透射电镜载网网格 批量化制备的技术问题，该方法简单易行，并具 有普适性；所制备的透射电镜载网网格结构质量 优异，可直接用于符合透射电镜制样要求的普通 A 电镜载网和石墨烯电镜载网的制备，后者可用于 6 冷冻电镜单颗粒结构解析以及纳米颗粒、单原子 5 8 4 的高分辨成像。 6 0