一种可见光-中红外宽波段透明导电薄膜的制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115747739 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211438098.X C23C 14/58 (2006.01) (22)申请日 2022.11.16 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西 大直街92号 (72)发明人 高岗　朱嘉琦　李坤　夏菲　 徐梁格　杨磊　段超　秦宇婕　 韩杰才　 (74)专利代理机构 哈尔滨华夏松花江知识产权 代理有限公司 23213 专利代理师 侯静 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种可见光-中红外宽波段透明导电薄膜的 制备方法 (57)摘要 一种可见光‑中红外宽波段透明导电薄膜的 制备方法，涉及一种红外透明导电薄膜的制备方 法。本发明是要解决现有的红外光学材料无法兼 容高红外透射率和高电导率的技术问题。本发明 利用磁控溅射共溅射技术结合硫化处理的方式 制备了可见光至中红外宽波段P型透明导电 LaCuOS薄膜，制备工艺简单。本发明的LaCuOS薄 19 ‑3 膜的载流子浓度均在10 cm