发明

氮化铝陶瓷材料及其制备方法和应用2024

2023-10-01 07:18:46 发布于四川 1
  • 申请专利号:CN202310786544.4
  • 公开(公告)日:2024-10-01
  • 公开(公告)号:CN116813352A
  • 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要:本发明公开了一种氮化铝陶瓷材料及其制备方法和应用,该制备方法包括以下步骤:将微米级氮化铝粉体、单层石墨烯和烧结助剂混合,球磨,制得混合粉末;将混合粉末与成型剂混合,模压成型,制得粉末胚体;对粉末胚体进行烧结,得到氮化铝陶瓷材料。本发明制得的氮化铝陶瓷材料的相对密度达到98.8%以上,体电阻率在109Ω·cm~1011Ω·cm,热导率超过200W m‑1K‑1,具有成本低廉、缺陷结构少、热导率高和电阻率可调等优点,是一种性能优异的新型电介质层材料,可以用于制备性能优异的静电卡盘,使用价值高,应用前景好,有利于实现静电卡盘的广泛应用。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116813352 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310786544.4 H01L 21/683 (2006.01) (22)申请日 2023.06.29 (71)申请人 中国电子科技集团公司第四十八研 究所 地址 410111 湖南省长沙市天心区新开铺 路1025号 (72)发明人 黄群 杨金 刘圣 佘鹏程  尹联民  (74)专利代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通 合伙) 43008 专利代理师 何文红 (51)Int.Cl. C04B 35/582 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/64 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 氮化铝陶瓷材料及其制备方法和应用 (57)摘要 本发明公开了一种氮化铝陶瓷材料及其制 备方法和应用,该制备方法包括以下步骤:将微 米级氮化铝粉体、单层石墨烯和烧结助剂混合, 球磨,制得混合粉末;将混合粉末与成型剂混合, 模压成型,制得粉末胚体;对粉末胚体进行烧结, 得到氮化铝陶瓷材料。本发明制得的氮化铝陶瓷 材料的相对密度达到98 .8%以上,体电阻率在 9 11 ‑ 10 Ω ·cm~10

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