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发明

有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物

2023-05-25 12:12:28 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202010660845.9
  • 公开（公告）日：2024-09-27
  • 公开（公告）号：CN112213919A
  • 申请人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物。本发明的课题为提供通过使用含有碳含量高的茚并芴结构且具有热固化性的聚合物，而可展现高蚀刻耐性、优良的扭曲耐性的有机膜形成用组合物；并提供使用该有机膜形成用组合物的图案形成方法、以及提供这样的有机膜形成用组合物的聚合物。该课题的解决方法为一种有机膜形成用组合物，含有：具有下述通式(1A)表示的部分结构作为重复单元的聚合物及有机溶剂。[化1]该通式(1A)中，AR1、AR2为也可具有取代基的苯环或萘环，R为氢原子或碳数2～10的具有不饱和键的1价有机基团，R’为单键或W1，且W1为具有1个以上的芳香环的碳数6～80的2价有机基团。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112213919 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202010660845.9 C08L 65/00 (2006.01) G03F 1/56 (2012.01) (22)申请日 2020.07.10 G03F 1/76 (2012.01) (30)优先权数据 2019-130218 2019.07.12 JP (71)申请人 信越化学工业株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 郡大佑　石绵健汰　山本靖之　 矢野俊治　 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇　李茂家 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) C08G 61/02 (2006.01) C08J 5/18 (2006.01) 权利要求书3页 说明书47页 附图2页 (54)发明名称 香环的碳数6～80的2价有机基团。 有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及 聚合物 (57)摘要 本发明涉及有机膜形成用组合物、图案形成 方法、以及聚合物。本发明的课题为提供通过使

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