一种高温辅助离子注入装置2024

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221028649 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202322732844.2 (51)Int.Cl . C23C 14/48 (2006.01) (22)申请日 2023.10.12 (73)专利权人 兰州新区专精特新化工科技有限 公司 地址 730300 甘肃省兰州市市辖区兰州新 区标准化厂房1办公楼经三十六路以 西、纬五十一路以北、经三十五路以 东、兰州新区土地储备征收管理中心 以南 (72)发明人 何文辉　苏清瑞　豆发贵　张泽林　 李娜　王龙　 (74)专利代理机构 兰州泽一知识产权代理有限 公司 62207 专利代理师 陈超 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 (54)实用新型名称 一种高温辅助离子注入装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种高温辅助离子注入 装置，涉及离子注入技术领域，包括下箱体与上 箱体，所述上箱体的上表面贯穿并固定连接有离 子束发生器，所述上箱体的内侧对称固定连接有 离子束流量测量装置，所述下箱体的上端固定连 接有多个呈矩形阵列分布的激光测温器，所述下 箱体的内侧固定连接有感应加热管，所述下箱体 的内侧下端活动连接有目标材料。本实用新型通 过感应加热管可以对目标材料进行加热，