一种基于非谐振辅助的纳米压印装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112213918 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 201910617395.2 (22)申请日 2019.07.10 (71)申请人 长春工业大学 地址 130012 吉林省长春市延安大街2055 号 (72)发明人 谷岩　林洁琼　陈斯　徐宏宇　 康洺硕　冯开拓　颜家瑄　李先耀　 张昭杰　徐贞潘　易正发　戴得恩　 段星鑫　卢发祥　辛成磊　 (51)Int.Cl. G03F 7/00(2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种基于非谐振辅助的纳米压印装置 (57)摘要 本发明公开了一种基于非谐振辅助的纳米 压印装置，首先将衬底放在衬底卡盘中，调节Y轴 位移平台及X-Z轴位移平台使衬底移动到模板正 下方，再控制X-Z轴位移平台使压印装置向下运 动，直至压印装置与衬底微接触，控制X-Z轴位移 平台进行压印，在压印同时使用Z向振动平台对 衬底施加Z向振动，然后利用冷却装置对衬底进 行冷却固化，最后用揭开式振动辅助的方法进行 脱模，本发明采用Z向振动平台带动衬底进行压 印，提高模板空腔的填充率与微纳图案的分辨 率；采用吸气泵及多个独立封闭通道在脱模时实 现揭开式脱模，在模板在与衬底逐渐分离的同时 A 进行振动辅助，减小模板与压印胶间的粘附力，