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发明

含氟类胆固醇阴离子光致产酸剂、制备及其光刻胶组合物2023

2023-10-01 07:27:13 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202210486980.5
  • 公开（公告）日：2023-09-29
  • 公开（公告）号：CN114933627A
  • 申请人：宁波南大光电材料有限公司
摘要：本发明提供了一种含氟类胆固醇阴离子光致产酸剂、制备方法及其光刻胶组合物。含氟类胆固醇阴离子光致产酸剂中的氟原子可作为氢键受体，提高光致产酸剂在光刻胶内的溶解性及更有效地减缓质子扩散，从而提高光刻胶分辨率和线宽粗糙度，且在大量使用时可有效提高整款光刻胶的接触角，避免小分子的光敏剂在镜头液体中析出而污染昂贵的光刻机镜头，更适用于浸没式光刻胶的使用环境；可利用氟原子作为氢质子受体的性质，通过氢键作用吸附质子，同时降低分子在烘烤过程的振动，进一步减慢酸的扩散速度；配合以此类胆固醇类化合物固有的大分子量、普遍具有多个极性基团的特点，可控制光刻胶曝光及烘烤后的光酸扩散距离，减小光刻胶显影后的边缘粗糙度。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114933627 A (43)申请公布日 2022.08.23 (21)申请号 202210486980.5 C07D 333/76 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01) (22)申请日 2022.05.06 (71)申请人 宁波南大光电材料有限公司 地址 315800 浙江省宁波市北仑区柴桥街 道青山路21号 (72)发明人 李彦霖　顾大公　夏力　马潇　 毛智彪　许从应　 (74)专利代理机构 深圳盛德大业知识产权代理 事务所(普通合伙) 44333 专利代理师 左光明 (51)Int.Cl. C07J 31/00 (2006.01) C07C 381/12 (2006.01) C07D 333/46 (2006.01) C07D 333/54 (2006.01) 权利要求书8页 说明书16页 (54)发明名称 含氟类胆固醇阴离子光致产酸剂、制备及其 光刻胶组合物 (57)摘要 本发明提供了一种含氟类胆固醇阴离子光 致产酸剂、制备方法及其光刻胶组合物。含氟类 胆固醇阴离子光致产酸剂中的氟原子可作为氢 键受体，提高光致产酸剂在光刻胶内的溶解性及 更有效地减缓质子扩散，从而提高光刻胶分辨率 和线宽粗糙度，且在大量使

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