工艺气体控制装置及真空镀膜系统2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219772246 U (45)授权公告日 2023.09.29 (21)申请号 202321388578.X (22)申请日 2023.06.01 (73)专利权人 中山凯旋真空科技股份有限公司 地址 528478 广东省中山市横栏镇永拓路1 号 (72)发明人 陈培绍　彭中业　李日天　 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 专利代理师 王本晋 (51)Int.Cl. C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)实用新型名称 工艺气体控制装置及真空镀膜系统 (57)摘要 本实用新型公开了一种工艺气体控制装置 及真空镀膜系统，装置包括多个布气口 ，多个所 述布气口均匀分布在所述镀膜腔体内的靶材对 应区域，所述布气口内皆设置有流量阀 ；控制模 块，所述控制模块分别连接多个所述流量阀以用 于控制布气口的气体流量，所述控制模块连接所 述靶电源以用于采集靶电压。本实用新型实施方 式在镀膜腔体内设置多个布气口，将多个布气口 均匀分布在靶材对应区域，可以保证布气的均 匀，此外控制模块根据靶电源的靶电压反馈自动 调节工艺气体流量 ，避免工艺气体出现富集现 象，有效避免靶中毒，无需频繁拆除靶材进行打 U 磨，节约人力物力，极大地提高了生产效率。 6 4 2