气体管路2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220770823 U (45)授权公告日 2024.04.12 (21)申请号 202322363332.3 F16L 55/07 (2006.01) (22)申请日 2023.08.31 (73)专利权人 上海积塔半导体有限公司 地址 200123 上海市浦东新区中国（上海） 自由贸易试验区临港新片区云水路 600号 (72)发明人 李天涯　喻泽锋　 (74)专利代理机构 上海盈盛知识产权代理事务 所(普通合伙) 31294 专利代理师 孙佳胤 (51)Int.Cl. F17D 1/02 (2006.01) F17D 3/01 (2006.01) F17D 5/08 (2006.01) F17D 5/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)实用新型名称 气体管路 (57)摘要 本实用新型提供了一种气体管路。所述气体 管路包括：气源、反应腔以及控压泵；所述反应腔 的进气口通过第一阀门与所述气源连接，所述控 压泵与所述反应腔的出气口连接，所述气源通过 第二阀门与所述控压泵连接。当所述气源的气压 高于所述反应腔的气压时，通过先关闭所述第一 阀门，打开所述第二阀门，使所述气源的气体通 过所述第二阀连通所述控压泵，从而使得所述气 源的气压与所述反应腔中的气压一致，防止因为 所述气源与所述