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CVD反应器的排气机构

2023-05-12 11:28:03 发布于四川 0

申请专利号：CN202080070943.5
公开（公告）日：2024-11-01
公开（公告）号：CN114555858A
申请人：艾克斯特朗欧洲公司

摘要：本发明涉及用于在CVD反应器中应用的排气机构，所述CVD反应器具有环形的上部件(11)，所述上部件具有围绕圆形面布置的排气口(7)，其中，具有平行于圆形面延伸的基面(18)的上部件(11)位于形成集气通道(8)的下部件(12)上。首先提出，处理室壁(17)被材料一体式模制在上部件(11)上，所述处理室壁(17)在其上端具有肩部(19)，所述肩部在径向向内方向上相对于平行于圆形面的中心轴线(A)的方向(S)至少局部地超过排气口(7)，并且排气口(7)的轴线(B)的向上指向的部段相对于轴线(A)是倾斜的。还提出，上部件(11)形成在圆形面的轴线(A)的方向上敞开的缝隙(14)的第一缝隙壁(15)，并且下部件(12)形成缝隙(14)的平行于第一缝隙壁(15)延伸的第二缝隙壁(16)，以用于接收板(10)的边缘。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114555858 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202080070943.5 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所 11105 (22)申请日 2020.10.08 专利代理师任丽荣 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102019127375.7 2019.10.10 DE C23C 16/44 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/455 (2006.01) 2022.04.08 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/078290 2020.10.08 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/069598 DE 2021.04.15 (71)申请人艾克斯特朗欧洲公司地址德国黑措根拉特 (72)发明人 M.科尔伯格　M.穆基诺维奇　 T.W.巴斯特克　F.鲁达耶维特　

CVD反应器的排气机构

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