一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝质量的方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115726034 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202211647886.X (22)申请日 2022.12.21 (71)申请人 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 地址 450001 河南省郑州市高新区梧桐街 121号 (72)发明人 刘晖　周文涛　吴晓磊　徐帅　 潘红星　闫建明　曹博伦　 (74)专利代理机构 郑州联科专利事务所(普通 合伙) 41104 专利代理师 程世芳 (51)Int.Cl. C30B 29/04 (2006.01) C30B 25/20 (2006.01) C30B 33/08 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种二次外延提高大尺寸单晶金刚石接缝 质量的方法 (57)摘要 本发明公开了一种二次外延提高大尺寸单 晶金刚石接缝质量的方法，通过化学气相沉积在 衬底表面沉积生长形成一次外延层，再用激光将 多个衬底正交交点处的晶体缺陷去除并形成矩 形槽；通过常规清洗和离子清洗去除拼接晶体一 次外延层表面的污染物后，通过化学气相沉积在 一次外延层表面生长单晶金刚石二次外延层；采 用该方法拼接生长后能够得到拼接晶体多个衬 底正交交点处无晶体缺陷的大尺寸单晶金刚石 拼接晶体。 A 4 3 0 6 2 7 5 1 1 N C CN 115726034 A