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发明

一种Zr基超稳金属玻璃的制备方法

2023-05-14 10:05:15 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202211340299.6
  • 公开（公告）日：2024-08-06
  • 公开（公告）号：CN116043141A
  • 申请人：烟台大学
摘要：一种Zr基超稳金属玻璃的制备方法，包括以下步骤；第一步：锆铜合金锭制备；第二步：磁控溅射所需靶材制备；第三步：调整磁控溅射各参数，获得不同沉积速率；第四步：不同沉积速率下，厚度为～2.5um的Zr50Cu50金属玻璃薄膜制备；第五步：Zr50Cu50超稳金属玻璃制备；本发明将制备效率提高～10倍的同时，免去了衬底加热的麻烦，大大降低了对制备仪器、基底材料的要求。与此同时，在沉积速率～5.95nm/min时，制备的金属玻璃薄膜的玻璃转变温度较同成分传统玻璃可提高～13％(～85K)，远高于现有报道的最高值～8.5％(～60K)。除此之外，其结晶温度提高～79K。玻璃转变温度和结晶温度的大幅度提高表明其稳定性较传统金属玻璃的大幅度提升。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043141 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211340299.6 (22)申请日 2022.10.29 (71)申请人 烟台大学 地址 264005 山东省烟台市莱山区清泉路 30号 (72)发明人 孙启静　王维　 (74)专利代理机构 西安硕大知识产权代理事务 所(普通合伙) 61283 专利代理师 杨哲 (51)Int.Cl. C22C 45/10 (2006.01) C22C 1/00 (2023.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种Zr基超稳金属玻璃的制备方法 (57)摘要 一种Zr基超稳金属玻璃的制备方法，包括以 下步骤；第一步：锆铜合金锭制备；第二步 ：磁控 溅射所需靶材制备 ；第三步 ：调整磁控溅射各参 数，获得不同沉积速率 ；第四步：不同沉积速率 下，厚度为～2.5um的Zr Cu 金属玻璃薄膜制 50 50 备；第五步 ：Zr Cu 超稳金属玻璃制备 ；本发明 50 50 将制备效率提高～10倍的同时，免去了衬底加热 的麻烦，大大降低了对制备仪器、基底材料的要 求。与此同时，在沉积速率～5.95nm/min时，制备 的金属玻璃薄膜的玻璃转变温度较

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