基于半自动射频匹配器的匹配方法、装置、设备及介质2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117713733 A (43)申请公布日 2024.03.15 (21)申请号 202410158491.6 (22)申请日 2024.02.04 (71)申请人 深圳市广能达半导体科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区新桥街 道黄埔社区上南东路128号1号厂房五 层 (72)发明人 黄加祥　邓顶阳　张振伟　 (74)专利代理机构 深圳市远航专利商标事务所 (普通合伙) 44276 专利代理师 张朝阳 (51)Int.Cl. H03H 7/38 (2006.01) H03H 11/28 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图2页 (54)发明名称 基于半自动射频匹配器的匹配方法、装置、 设备及介质 (57)摘要 本发明涉及阻抗匹配技术领域，揭露一种基 于半自动射频匹配器的匹配方法，包括：构建工 作电路，并获取射频匹配器中负载电容和谐调电 容的初始占比；读取工作电路的反射值，并通过 调节初始占比，使得反射值为零值时，记录谐调 电容占比；保持谐调电容占比，通过调节负载电 容对应的电机，得到负载电容占比，重新读取反 射值，得到当前反射值；基于反射调节值和当前 反射值调整电机的转速；记录上次反射值，并根 据上次反射值和当前反射值调整电机的转动方 向；当当前反射值小于或等于预设停止值时，令 A 电机停止转动，得到标准负载电容占比。本发明 3 还提出一种基于半自动射频