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发明

一种含氟清洗液组合物及其应用

2023-06-02 13:05:34 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202110459918.2
  • 公开（公告）日：2023-05-30
  • 公开（公告）号：CN113186043A
  • 申请人：上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种含氟清洗液组合物及其应用。该含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10‑30％氧化剂、0.001‑0.01％还原型谷胱甘肽、0.001‑0.25％半胱氨酸、1‑5％氟化物、1‑5％有机碱、0.01‑2％螯合剂、0.01‑2％缓蚀剂、0.5‑3％羧酸铵、0.01‑1％EO‑PO聚合物L81、0.01‑2％9‑蒽甲醛‑1,1‑二苯基腙和水，水补足余量。本发明的含氟清洗液组合物可选择性地除去微电子器件上的硬遮罩，具有良好的应用前景。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113186043 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110459918.2 (22)申请日 2021.04.27 (71)申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司 地址 201616 上海市松江区思贤路3600号 (72)发明人 王溯　蒋闯　冯强强　史筱超　 于仙仙　王亮　 (74)专利代理机构 上海弼兴律师事务所 31283 代理人 王卫彬　陈卓 (51)Int.Cl. C11D 7/04 (2006.01) C11D 7/26 (2006.01) C11D 7/32 (2006.01) C11D 7/08 (2006.01) C11D 7/60 (2006.01) 权利要求书4页 说明书15页 (54)发明名称 一种含氟清洗液组合物及其应用 (57)摘要 本发明公开了一种含氟清洗液组合物及其 应用。该含氟清洗液组合物包括下述质量分数的 组分：10‑30％氧化剂、0.001‑0.01％还原型谷胱 甘肽、0.001‑0.25％半胱氨酸、1‑5％氟化物、1‑ 5％有机碱、0.01‑2％螯合剂、0.01‑2％缓蚀剂、 0.5‑3％羧酸铵、0.01‑1％EO‑PO聚合物L81、 0.01‑2％9‑蒽甲醛‑1,1‑二苯基腙和水，水补足 余量。本发明的含氟清洗液组合物可选择性地除 去微电子器件上的硬遮罩，具有良好的应用前 景。 A 3 4 0 6 8 1 3

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