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PCT发明

生成含金属或半金属膜的方法

2023-04-22 09:15:44 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080041281.9
  • 公开（公告）日：2025-03-04
  • 公开（公告）号：CN113939609A
  • 申请人：巴斯夫欧洲公司|||韦恩州立大学
摘要：本发明属于制备含无机金属或半金属膜的方法的领域，该方法包括：(a)将含金属或半金属化合物由气态沉积至固体基材上，和(b)使固体基材在气态中与通式(I)、(II)、(III)、(IV)、(V)、(VI)或(VII)的化合物接触，其中A为NR或O，E为CR”、CNR”2、N、PR”2或SOR”，G为CR’或N，R为烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基，和R’和R”为氢、烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113939609 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202080041281.9 (72)发明人 S ·V ·克伦克　D ·D ·施魏因富特　 L ·迈尔　S ·魏戈尼　C ·温特　 (22)申请日 2020.05.27 N ·韦拉滕加西里卡图格　 (30)优先权数据 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所 19178769.6 2019.06.06 EP 11247 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 代理人 张双双　刘金辉 2021.12.03 (51)Int.Cl. (86)PCT国际申请的申请数据 C23C 16/455 (2006.01) PCT/EP2020/064680 2020.05.27 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/

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