一种驱动传动装置及外延设备反应装置2025
- 申请专利号:CN202311864961.2
- 公开(公告)日:2025-06-17
- 公开(公告)号:CN117888201A
- 申请人:纳设智能装备(江苏)有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117888201 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202311864961.2 (22)申请日 2023.12.29 (71)申请人 纳设智能装备(江苏)有限公司 地址 226300 江苏省南通市通州区金新街 道双福路126号半导体光电产业园N2 栋第1、4层 (72)发明人 许崇毅 肖蕴章 陈炳安 钟国仿 (74)专利代理机构 北京布瑞知识产权代理有限 公司 11505 专利代理师 孙建康 (51)Int.Cl. C30B 29/36 (2006.01) C30B 23/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种驱动传动装置及外延设备反应装置 (57)摘要 本申请提供了一种驱动传动装置,用于外延 设备技术领域,具体为一种驱动传动装置,包括 驱动轴,驱动轴的上端与反应室内的旋转托盘相 连接;驱动轴的下端与设置在反应室外的驱动部 件相连接,驱动部件驱动该驱动轴进而带动旋转 托盘转动。上述驱动传动装置通过转速和启停可 控的驱动部件来带动旋转托盘转动,旋转托盘的 转速和启停位置也是可控的,从而解决了现有技 术中旋转托盘无法控制转速和启停位置的问题。 本申请还提供了一种外延设备反应装置,包括上 述驱动传动装置,还包括反应室和旋转托盘。本 申请提供的外延设备反应装置,通过利用本申请 A 的驱动传动装置,实现了旋转托盘可控的转速和
最新专利
- 斜锁舌结构及门锁公开日期:2025-07-15公开号:CN116988694A申请号:CN202310980525.5斜锁舌结构及门锁
- 发布时间:2023-11-05 07:44:440
- 申请号:CN202310980525.5
- 公开号:CN116988694A
- 一种推拉门锁紧组件公开日期:2025-07-15公开号:CN116498160A申请号:CN202310696129.X一种推拉门锁紧组件
- 发布时间:2023-07-30 07:20:090
- 申请号:CN202310696129.X
- 公开号:CN116498160A
- 门的自动功能配置公开日期:2025-07-15公开号:CN113802953A申请号:CN202110642963.1门的自动功能配置
- 发布时间:2023-07-05 07:16:060
- 申请号:CN202110642963.1
- 公开号:CN113802953A
- 智能窗及其控制方法、控制装置和计算机可读存储介质公开日期:2025-07-15公开号:CN116357189A申请号:CN202310344435.7智能窗及其控制方法、控制装置和计算机可读存储介质
- 发布时间:2023-07-03 10:09:520
- 申请号:CN202310344435.7
- 公开号:CN116357189A
- 一种锁体公开日期:2025-07-15公开号:CN116241129A申请号:CN202211434808.1一种锁体
- 发布时间:2023-06-11 13:08:470
- 申请号:CN202211434808.1
- 公开号:CN116241129A
- 一种双向可调节角度缓冲的气撑机构公开日期:2025-07-15公开号:CN114352151A申请号:CN202210047329.8一种双向可调节角度缓冲的气撑机构
- 发布时间:2023-05-09 09:51:340
- 申请号:CN202210047329.8
- 公开号:CN114352151A