一种驱动传动装置及外延设备反应装置2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117888201 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202311864961.2 (22)申请日 2023.12.29 (71)申请人 纳设智能装备（江苏）有限公司 地址 226300 江苏省南通市通州区金新街 道双福路126号半导体光电产业园N2 栋第1、4层 (72)发明人 许崇毅　 肖蕴章　陈炳安　钟国仿　 (74)专利代理机构 北京布瑞知识产权代理有限 公司 11505 专利代理师 孙建康 (51)Int.Cl. C30B 29/36 (2006.01) C30B 23/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种驱动传动装置及外延设备反应装置 (57)摘要 本申请提供了一种驱动传动装置，用于外延 设备技术领域，具体为一种驱动传动装置，包括 驱动轴，驱动轴的上端与反应室内的旋转托盘相 连接；驱动轴的下端与设置在反应室外的驱动部 件相连接，驱动部件驱动该驱动轴进而带动旋转 托盘转动。上述驱动传动装置通过转速和启停可 控的驱动部件来带动旋转托盘转动，旋转托盘的 转速和启停位置也是可控的，从而解决了现有技 术中旋转托盘无法控制转速和启停位置的问题。 本申请还提供了一种外延设备反应装置，包括上 述驱动传动装置，还包括反应室和旋转托盘。本 申请提供的外延设备反应装置，通过利用本申请 A 的驱动传动装置，实现了旋转托盘可控的转速和