一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117488401 A (43)申请公布日 2024.02.02 (21)申请号 202311472192.1 (22)申请日 2023.11.07 (71)申请人 上海征世科技股份有限公司 地址 201799 上海市青浦区华浦路500号2 幢西侧 (72)发明人 龚闯　蒋梅荣　杨武　杨春梅　 (74)专利代理机构 上海邦德专利代理事务所 (普通合伙) 31312 专利代理师 崔双双 (51)Int.Cl. C30B 25/16 (2006.01) C30B 25/02 (2006.01) C30B 29/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置 (57)摘要 本发明公开了一种单晶金刚石生产设备用 控温散热装置，控温散热装置包括柜体、控制系 统、微波发生器、反应室、密封基板，控制系统与 柜体紧固连接，微波发生器与柜体紧固连接，微 波发生器与控制系统电连接，反应室与微波发生 器的输出端连通，密封基板与反应室抵接，密封 基板上设有沉积台，密封基板下方设有电动推 杆，电动推杆与柜体紧固连接，柜体内设有散热 系统，柜体为本装置的安装基础，为各组件提供 稳定的工作环境，控制系统用于调控各组件的工 作状态，散热系统用于控制金刚石生产过程中的 温度，将温度控制在适合的区间。 A 1 0 4 8 8 4 7 1 1