一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀刻方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116177893 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202211718555.0 (22)申请日 2022.12.29 (71)申请人 苏州凯利昂光电科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市太仓市太仓港 经济技术开发区华港路1号 (72)发明人 易文辉　 (74)专利代理机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 张岭 (51)Int.Cl. C03C 15/00 (2006.01) C03C 23/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀刻方法 (57)摘要 本申请涉及一种玻璃减薄的蚀刻系统及蚀 刻方法，涉及蚀刻技术领域，其中，玻璃减薄的蚀 刻系统，包括水池和输送单元，水池上端开口，能 够与输送单元对应；在水池的一内侧壁面上安装 有鼓气组件；所述鼓气组件包括多个气泡生成单 元，气泡生成单元均包括用于连通气源的导气 管，导气管上安装有多个气泡生成器，气泡生成 器均与导气管内部连通，气泡生成器的气泡出口 均朝向水池内部；多个气泡生成单元彼此独立。 本申请的蚀刻系统在蚀刻过程中，能够根据蚀刻 玻璃的量进行不同数量的气泡生成单元工作，以 产生不同的气泡量，去除玻璃表面蚀刻杂质更加 A 精准，蚀刻更加均匀，提高玻璃蚀刻效果。 3 9 8 7 7 1 6 1 1 N C CN 1