一种超薄金属箔的制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114086120 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111335008.X (22)申请日 2021.11.11 (71)申请人 杭州四马化工科技有限公司 地址 310000 浙江省杭州市钱塘新区河庄 街道闸北村13组9号 (72)发明人 唐谊平　邓意达　 (74)专利代理机构 上海领匠知识产权代理有限 公司 31404 代理人 黄利群 (51)Int.Cl. C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 一种超薄金属箔的制备方法 (57)摘要 本发明属于金属材料领域，尤其涉及一种超 薄铜箔的制备方法。所述方法包括：1）设置可动 的载体，载体至少一面为负载面，且载体活动区 域至少设置一个负载区；2）所述载体运动至负载 区前的载体活动区域为上游区，所述载体在上游 区中时，在载体的负载面覆盖过渡材料，形成过 渡层；3）所述载体在负载区内运动时在过渡层表 面进行金属铜的气相沉积，形成铜箔；4）所述载 体运动离开负载区后的载体活动区域为下游区， 所述过渡层在下游区内去除，实现铜箔和载体的 分离；5）收集分离后的铜箔。本发明对于超薄铜 箔的制备效率和良品率具有显著的提升；能够显 A 著降低设备成本、工艺成本和物料成本。 0 2 1 6 8 0 4 1 1 N