巨量转移方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117476532 A (43)申请公布日 2024.01.30 (21)申请号 202310271593.4 (22)申请日 2023.03.09 (71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有 限公司 地址 518132 广东省深圳市光明新区公明 街道塘明大道 (72)发明人 杜真真　 (74)专利代理机构 深圳紫藤知识产权代理有限 公司 44570 专利代理师 张惠 (51)Int.Cl. H01L 21/683 (2006.01) H01L 25/075 (2006.01) G09F 9/33 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 巨量转移方法 (57)摘要 本申请提供一种巨量转移方法，包括 ：将多 个第一微型发光二极管粘附于第一可拉伸膜上， 将多个第二微型发光二极管粘附于第二可拉伸 膜上，并将多个第三微型发光二极管粘附于第三 可拉伸膜上；分别对第一可拉伸膜、第二可拉伸 膜以及第三可拉伸膜进行拉伸，得到第一扩大 膜、第二扩大膜以及第三扩大膜；分别将第一扩 大膜上的多个第一微型发光二极管、第二扩大膜 上的多个第二微型发光二极管、第三扩大膜上的 多个第三微型发光二极管粘附于转移膜上；将转 移膜置于阵列基板的上方，使多个第一微型发光 二极管、多个第二微型发光二极管以及多个第三 A 微型发光二极管从转移膜上脱落至阵列基板上。 2