具有包括含硼化物的扩散阻挡层的涂层的涂覆工具
- 申请专利号:CN202080013015.5
- 公开(公告)日:2024-11-05
- 公开(公告)号:CN113412344A
- 申请人:欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113412344 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202080013015.5 (74)专利代理机构 北京之于行知识产权代理有 限公司 11767 (22)申请日 2020.02.10 代理人 何志欣 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/802,838 2019.02.08 US C23C 28/04 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 14/06 (2006.01) 2021.08.06 C23C 14/14 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C23C 14/34 (2006.01) PCT/EP2020/053345 2020.02.10 C23C 14/35 (2006.01) C23C 28/00 (2006.01) (87)PCT国际申请