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发明

一种含氟清洗液组合物的制备方法2024

2024-03-05 07:10:16 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202210952767.9
  • 公开（公告）日：2024-03-01
  • 公开（公告）号：CN117625316A
  • 申请人：上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种含氟清洗液组合物的制备方法。该制备方法包括如下步骤：将所述的含氟清洗液组合物中的各个组分混合，即得到所述的含氟清洗液组合物；10‑30％氧化剂、0.001‑0.01％氧化型谷胱甘肽、0.001‑0.25％半胱氨酸、氟化物、有机碱、螯合剂、缓蚀剂、羧酸铵、0.01‑1％EO‑PO聚合物L31、0.01‑2％1‑(苯并三氮唑‑1‑甲基)‑1‑(2‑甲基苯并咪唑)和水，水补足余量；各组分质量分数之和为100％。采用本发明的含氟清洗液组合物的制备方法制得的含氟清洗液组合物可以高选择性地移除TiN、TaN、TiNxOy、Ti硬遮罩和包含上述物质的合金的硬遮罩。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117625316 A (43)申请公布日 2024.03.01 (21)申请号 202210952767.9 C11D 3/34 (2006.01) C11D 3/39 (2006.01) (22)申请日 2022.08.09 C11D 3/60 (2006.01) (71)申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司 C11D 11/00 (2006.01) 地址 201616 上海市松江区思贤路3600号 (72)发明人 王溯　蒋闯　冯强强　刘超勇　 (74)专利代理机构 上海弼兴律师事务所 31283 专利代理师 马续红 (51)Int.Cl. C11D 1/722 (2006.01) C11D 3/04 (2006.01) C11D 3/20 (2006.01) C11D 3/28 (2006.01) C11D 3/30 (2006.01) C11D 3/32 (2006.01) C11D 3/33 (2006.01) 权利要求书4页 说明书17页 (54)发明名称 一种含氟清洗液组合物的制备方法 (57)摘要

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