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PCT发明

正型光敏材料

2023-06-03 12:25:12 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980057768.3
  • 公开（公告）日：2024-09-24
  • 公开（公告）号：CN112654928A
  • 申请人：默克专利股份有限公司
摘要：本发明公开了一种光敏组合物，其包含a)至少一种光致产酸剂；b)至少一种酚醛清漆聚合物；c)至少一种丙烯酸酯聚合物,其包含具有结构(I)的组分；d)至少一种缩水甘油基羟基苯甲酸缩合物材料,其包含一种或多种具有结构(I I)的化合物；e)至少一种杂环硫醇化合物,其包含选自通用结构(I I I)、(I I Ia)或(I I Ib)的环结构；及f)至少一种溶剂。本文中还公开了使用此组合物以形成抗蚀剂图案的方法及使用这些抗蚀剂图案以产生金属线的方法。本文还公开了具有结构(I I)的化合物及化合物的混合物。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112654928 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 201980057768.3 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所 有限公司 11038 (22)申请日 2019.09.03 代理人 姜煌 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/727,180 2018.09.05 US G03F 7/039 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/004 (2006.01) 2021.03.04 C07C 69/84 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/073430 2019.09.03 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/048957 EN 2020.03.12 (71)申请人 默克专利股份有限公司 地址 德国达姆施塔特 (72)发明人 刘卫宏　卢

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