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发明

成膜用掩模夹具以及成膜装置

2023-04-26 09:55:04 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202110740677.9
  • 公开（公告）日：2024-10-25
  • 公开（公告）号：CN114086113A
  • 申请人：株式会社村田制作所
摘要：本发明的成膜用掩模夹具(270)具备：收容部(273)，收容被成膜物；掩模部(274)，在成膜时位于被成膜物的下方，用于防止被成膜物向非成膜区域的成膜；以及掉落抑制构件(275)，在未设置掩模部(274)的开口部中，设置于在被成膜物被收容于收容部(273)的状态下不与被成膜物接触的位置，用于抑制被成膜物的掉落。由此，能够抑制向开口部的被成膜物的掉落。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114086113 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202110740677.9 C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) (22)申请日 2021.06.30 H01G 13/00 (2013.01) (30)优先权数据 2020-115422 2020.07.03 JP (71)申请人 株式会社村田制作所 地址 日本京都府 (72)发明人 佐佐田学　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人 韩聪 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) C23C 16/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书12页 附图16页 (54)发明名称 成膜用掩模夹具以及成膜装置 (57)摘要 本发明的成膜用掩模夹具(270)具备：收容 部(273)，收容被成膜物；掩模部(274)，在成膜时 位于被成膜物的下方，用于防止被成膜物向非成 膜区域的成膜；以及掉落抑制构件(275)，在未设 置掩模部

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