一种小口径金属管内壁表面制备阻氢涂层的方法及装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115821213 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211485998.X (22)申请日 2022.11.24 (71)申请人 北京工业大学 地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号 (72)发明人 李辉　杜振宇　潘润蓬　张鹏　 (74)专利代理机构 北京东方盛凡知识产权代理 有限公司 11562 专利代理师 李彬 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种小口径金属管内壁表面制备阻氢涂层 的方法及装置 (57)摘要 本发明公开一种小口径金属管内壁表面制 备阻氢涂层的方法及装置，包括以下步骤：将金 属管和热源置于真空蒸镀仓内，打开水冷管路并 对真空蒸镀仓进行洗气后，将真空蒸镀仓内腔抽 真空；调整电源电流使置于真空蒸镀仓内的热源 发热，使热源表面辅助附着的镀层蒸发附着在金 属管内；将附着有镀层的金属管置于马弗炉内氧 化，制备氧化层。本发明采用干法镀铝，真空蒸镀 装置可通过施加大电流，在短时间内在小口径金 属管内壁沉积一定厚度的涂层。有效解决了常规 等离子喷涂等方法无法在小口径金属管内壁无 A 法沉积阻氢涂层的问题。 3 1 2 1 2 8 5 1