真空冷屏、冷却装置及真空镀膜系统2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815304 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202210245472.8 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人 费勉仪器科技（上海）有限公司 地址 201900 上海市宝山区顾村工业园区 富联二路189号4幢 (72)发明人 谢斌平　杨贺鸣　陈飞　 (74)专利代理机构 南京瑞华腾知识产权代理事 务所(普通合伙) 32368 专利代理师 邱欢欢 (51)Int.Cl. C30B 23/02 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 真空冷屏、冷却装置及真空镀膜系统 (57)摘要 本公开提供了一种真空冷屏，包括：主体，包 括一个或多个用于冷却的导热表面；以及一个或 多个阻挡器，阻挡器设置在导热表面上，阻挡器 包括 ：一个或多个阻挡板，用于阻挡热辐射和束 流。 A 4 0 3 5 1 8 6 1 1 N C CN 116815304 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种真空冷屏，其特征在于，包括： 主体，包括一个或多个用于冷却的导热表面；以及 一个或多个阻挡器，所述阻挡器设置在所述导热表面上， 所述阻挡器