一种基于有机磷配体的纳米晶体在光学图案化中的应用2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117420729 A (43)申请公布日 2024.01.19 (21)申请号 202311132211.6 (22)申请日 2023.09.05 (71)申请人 南京大学 地址 210023 江苏省南京市栖霞区仙林大 道163号 (72)发明人 王元元　管杰　马建行　 肖鹏伟　 (74)专利代理机构 南京众联专利代理有限公司 32206 专利代理师 卢倩 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种基于有机磷配体的纳米晶体无胶光刻 方法 (57)摘要 本发明属于纳米材料图案化方法技术领域， 特别涉及一种基于有机磷配体的纳米晶体无胶 光刻方法，本发明通过引入含磷基团的有机分子 作为光敏配体，将纳米晶体转变为光敏涂料，实 现直接图案化；本发明解决了在完成图案化的过 程中有效降低纳米晶体性能损失的问题，且具有 以下几点优势：1)高度的区域/立体专一性；2)光 敏区间可调，适用于DUV，i‑line和h‑line光源光 刻；3)具有高的反应灵敏度，需要极低的曝光剂 量；4)对环境不敏感，可在空气氛中操作，反应条 件温和，易于操作；本发明的工艺有望在电致及 A 光致发光量子点显示器领域纳米晶体的商业化 9 中得到应用。 2 7 0 2 4 7 1 1 N C CN 11