晶体生长装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114990695 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210704600.0 (22)申请日 2022.06.21 (71)申请人 成都东骏激光股份有限公司 地址 611600 四川省成都市蒲江县鹤山镇 工业开发区 (72)发明人 付秀梅　喻彬　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 专利代理师 刘曾 (51)Int.Cl. C30B 29/30 (2006.01) C30B 15/12 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 晶体生长装置 (57)摘要 本申请提供一种晶体生长装置，涉及功能材 料领域，包括炉体、籽晶杆、坩埚单元和加热单 元，坩埚单元与加热单元均设于炉体内，加热单 元用于调节炉体内温度；坩埚单元包括保温罩、 金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层耐高温坩埚和 垫块，金属坩埚嵌设于内层耐高温坩埚内，内层 耐高温坩埚嵌设于外层耐高温坩埚内，垫块支撑 于内层耐高温坩埚和外层耐高温坩埚之间；保温 罩同时罩设于金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层 耐高温坩埚的开口侧；保温罩设有提拉孔，籽晶 杆穿设于提拉孔内且与提拉孔活动配合。运行 时，该结构能够减小晶体生长过程中坩埚的形变 A 量，坩埚不易被损坏，使用寿命长，成本低。 5 9 6 0 9 9 4 1 1 N C CN 114990695