烘干固化炉装置和烘干方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112964047 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110297953.9 F26B 3/02 (2006.01) (22)申请日 2021.03.19 (71)申请人 常州捷佳创智能装备有限公司 地址 213133 江苏省常州市新北区机电工 业园宝塔山路9号 (72)发明人 左国军　吴勇茂　钟文魁　罗搏飞　 冼志军　 (74)专利代理机构 北京友联知识产权代理事务 所(普通合伙) 11343 代理人 尚志峰 (51)Int.Cl. F26B 15/14 (2006.01) F26B 25/18 (2006.01) F26B 25/00 (2006.01) F26B 25/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书13页 附图12页 (54)发明名称 烘干固化炉装置和烘干方法 (57)摘要 本发明提供了一种烘干固化炉装置和烘干 方法，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠 放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体 装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本发 明的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片 送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又 将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工 序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片 的功能，从而满足设备的自动化要求，同