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PCT发明

离子植入系统以及与其一起使用的监测电路

2023-05-12 11:29:16 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080073445.6
  • 公开（公告）日：2025-04-08
  • 公开（公告）号：CN114556517A
  • 申请人：应用材料股份有限公司
摘要：公开一种包括拾波回路以监测对直线加速器的腔室施加的电压的监测电路，具体而言，公开一种离子植入系统以及与其一起使用的监测电路。监测电路与直线加速器电隔离且也与从电路接收输入且控制直线加速器的控制器电隔离。在某些实施例中，监测电路还包括能量采集器以在与控制器不存在任何实体连接的情况下捕获能量。举例来说，此可使用光能或电磁能来达成。在某些实施例中，监测电路包括模/数转换器以将从拾波回路接收到的信号转换成数字值。在其他实施例中，监测电路将模拟电压传递到控制器。来自监测电路的输出可包括正在对相应的腔室施加的电压的振幅及相位。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114556517 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202080073445.6 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 (22)申请日 2020.09.21 专利代理师 贺财俊　刘芳 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 16/663,553 2019.10.25 US H01J 37/24 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01J 37/304 (2006.01) 2022.04.20 H01J 37/317 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/051761 2020.09.21 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/080718 EN 2021.04.29 (71)申请人 应用材料股份有限公司 地址 美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯大道

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