一种用于扫描电镜的低温恒温器2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117190561 A (43)申请公布日 2023.12.08 (21)申请号 202311293727.9 (22)申请日 2023.10.08 (71)申请人 北京金竟科技有限责任公司 地址 100096 北京市海淀区西三旗建材城 内建中路金隅智造工场0号1层138 (72)发明人 施成龙　何超　 (74)专利代理机构 北京市中伦律师事务所 11410 专利代理师 孔令娟 (51)Int.Cl. F25D 3/10 (2006.01) H01J 37/20 (2006.01) H01J 37/28 (2006.01) F25D 23/12 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 一种用于扫描电镜的低温恒温器 (57)摘要 本发明提出了一种用于扫描电镜的低温恒 温器，其包括：低温恒温器主体、低温恒温器冷端 以及驱动装置；其中，所述低温恒温器主体通过 中空管体连接所述低温恒温器冷端；所述驱动装 置与所述中空管体连接，用于驱动所述中空管体 的靠近所述低温恒温器冷端的部分进行轴向往 复移动，进而带动所述低温恒温器冷端与扫描电 镜的样品台连接在一起或分离；其中，当所述低 温恒温器冷端与所述样品台连接在一起时，所述 低温恒温器主体通过所述低温恒温器冷端向所 述样品台提供冷量。本发明能够精确地控制样品 台内部的温度环境，防止任何因环境因素导致的 A 温度波动，