一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀膜方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117403190 A (43)申请公布日 2024.01.16 (21)申请号 202311430832.2 (22)申请日 2023.10.31 (71)申请人 四川图林科技有限责任公司 地址 610000 四川省成都市高新区天勤路 839号2栋1-2层 (72)发明人 李永德　 (74)专利代理机构 成都精点专利代理事务所 (普通合伙) 51338 专利代理师 周建 (51)Int.Cl. C23C 14/30 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/18 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图11页 (54)发明名称 一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀 膜方法 (57)摘要 本发明涉及半球谐振陀螺仪技术领域，具体 是指一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀 膜方法，包括以下步骤：步骤1，对谐振子的待镀 膜表面进行预处理，并将预处理后谐振子通过偏 转模块安装在公自转模块上；步骤2，将谐振子的 待镀膜表面加热升温至设定温度；步骤3，打开坩 埚挡板，调节束流旋钮至坩埚内观察到光斑，并 调节光斑至坩埚中央，待束流速度达到预定速率 后进行预溅，再待预溅速度稳定后打开衬底挡板 进行生长镀膜；本发明增加了谐振子在蒸发腔室 内的自由度，改变了谐振子表面各点与蒸发源之 A 间的夹角，使得谐振子的转轴多向化