原创力.专利
PCT发明
真空泵
2022-12-31 12:04:35
发布于四川
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- 申请专利号：CN202180038485.1
- 公开（公告）日：2022-12-30
- 公开（公告）号：CN115552126A
- 申请人：埃地沃兹日本有限公司
摘要：本发明提供一种真空泵，其能够在不进行翻修的情况下除去堆积物，进而能够检测堆积物的除去已完成。本发明具备清洁功能部和堆积传感器(206)，前述清洁功能部用于清洁真空泵(100)内的堆积物的清洁功能，前述堆积传感器(206)用于检测堆积物的堆积检测功能。进而，具备用于判定清洁的完成的清洁完成判定功能的读取回路部(207)、清洁完成判定回路部(208)，基于堆积传感器(206)的检测结果，清洁完成判定回路部(208)输出表示清洁的完成的清洁完成信号。
专利内容
本发明提供一种真空泵，其能够在不进行翻修的情况下除去堆积物，进而能够检测堆积物的除去已完成。本发明具备清洁功能部和堆积传感器(206)，前述清洁功能部用于清洁真空泵(100)内的堆积物的清洁功能，前述堆积传感器(206)用于检测堆积物的堆积检测功能。进而，具备用于判定清洁的完成的清洁完成判定功能的读取回路部(207)、清洁完成判定回路部(208)，基于堆积传感器(206)的检测结果，清洁完成判定回路部(208)输出表示清洁的完成的清洁完成信号。F04D19/04(2006.01)
