一种铜镍钛合金靶材及其制备方法与应用2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117778783 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202311838569.0 C23C 14/35 (2006.01) (22)申请日 2023.12.28 (71)申请人 苏州精美科光电材料有限公司 地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区 金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区1 栋104室 (72)发明人 何建进　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 刘锴 (51)Int.Cl. C22C 1/02 (2006.01) C22C 1/06 (2006.01) C22C 9/06 (2006.01) C22F 1/08 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 (54)发明名称 一种铜镍钛合金靶材及其制备方法与应用 (57)摘要 本发明提供了一种铜镍钛合金靶材及其制 备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1) 混合铜粉、镍粉与钛粉，然后将所得混合粉进行 悬浮熔炼，得到合金锭；(2)精炼所得金属锭至少 3次，将最后一次精炼所得熔体进行浇铸，得到铸 锭；(3)对所得铸锭进行轧制处理，得到铜镍钛合 金靶坯；(4)热等静压处理所得铜镍钛合金靶坯， 得到所述铜镍钛合金靶材。本发明提供的制备方 法结合至少3次精炼以及热等静压处理，保证了 最