一种显影液回收装置

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113009792 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110247127.3 (22)申请日 2021.03.05 (71)申请人 苏州晶洲装备科技有限公司 地址 215555 江苏省苏州市常熟市辛庄镇 光华环路32号 (72)发明人 胡磊　魏攀龙　施利君　蒋新　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 胡彬 (51)Int.Cl. G03F 7/30 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种显影液回收装置 (57)摘要 本发明涉及废液回收技术领域，尤其涉及一 种显影液回收装置，显影液回收装置包括回收存 储单元、处理单元和回用单元；所述回收存储单 元包括废液收集罐，所述废液收集罐用于收集废 弃的显影液；所述处理单元用于对废弃的显影液 进行处理，包括依次连通的反应沉淀装置和过滤 装置，所述反应沉淀装置与所述废液收集罐连 通，用于对废弃的显影液中的树脂进行沉积，所 述过滤装置用于对废弃的显影液进行过滤；所述 回用单元包括回收液存储罐和原液罐，所述回收 液存储罐与所述过滤装置连通，所述回收液存储 罐中设置有检测系统。本发明能够对显影液废液 A 进行处理和回收，从而减少对环境的污染，降低 2 成本，扩充企业产能。 9 7 9 0 0 3 1 1 N C CN 113009792 A