发明

硅片处理设备

2023-05-25 12:28:57 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202011187197.6
  • 公开(公告)日:2024-06-25
  • 公开(公告)号:CN112226745A
  • 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司
摘要:本发明提供了一种硅片处理设备,硅片处理设备包括:硅片加工组件,硅片加工组件上设置有输入端和输出端,输入端适于接收载板,输出端适于输出载板;载板传送组件,载板传送组件包括:导轨,导轨的两端分别与输入端和输出端相连接;传输装置,设置于导轨上,传输装置能够沿导轨运动,传输装置上设置有腔体;其中,输出端输出的载板存入腔体后,经传输装置将载板输送至输入端。通过设置由导轨和传输装置组成的载板传送组件,取缔了皮带输送机,一方面精简了硅片处理设备的结构,缩减载板传送组件所占空间。通过在传送装置上设置腔体,可以从密封结构上进一步精简硅片处理设备的结构。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112226745 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011187197.6 (22)申请日 2020.10.29 (71)申请人 常州捷佳创精密机械有限公司 地址 213133 江苏省常州市新北区机电工 业园宝塔山路9号 (72)发明人 左国军 梁建军 杨虎 候岳明  朱海剑 柳昆鹏  (74)专利代理机构 北京友联知识产权代理事务 所(普通合伙) 11343 代理人 尚志峰 王淑梅 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 硅片处理设备 (57)摘要 本发明提供了一种硅片处理设备,硅片处理 设备包括:硅片加工组件,硅片加工组件上设置 有输入端和输出端,输入端适于接收载板,输出 端适于输出载板;载板传送组件,载板传送组件 包括:导轨,导轨的两端分别与输入端和输出端 相连接;传输装置,设置于导轨上,传输装置能够 沿导轨运动,传输装置上设置有腔体;其中,输出 端输出的载板存入腔体后,经传输装置将载板输 送至输入端。通过设置由导轨和传输装置组成的 载板传送组件,取缔了皮带输送机,一方面精简 了硅片处理设备的结构,缩减载板传送组件所占 空间。通过在传送装置上设置腔体,可以从密封

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