一种AIN粉专用高温旋转烧结炉2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109458840 A (43)申请公布日 2019.03.12 (21)申请号 201811608326.7 (22)申请日 2018.12.27 (71)申请人 苏州楚翰真空科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市相城区渭塘镇 骑河村骑河路168号 (72)发明人 王玉洁　 (51)Int.Cl. F27B 14/04(2006.01) F27B 14/10(2006.01) F27B 14/14(2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种AIN粉专用高温旋转烧结炉 (57)摘要 本发明公开了一种AIN粉专用高温旋转烧结 炉，炉体设置在炉架上，旋转坩埚设置于炉体内， 坩埚盖上设有排气孔，旋转坩埚另一侧设有进气 孔，并与传动机构相连，步进电机驱动传动轴转 动，传动轴靠近旋转坩埚一侧设有轴向插槽，旋 转坩埚上设有石墨连接轴，该石墨连接轴内设有 第一进气管，传动轴与石墨连接轴相连，第一进 气管插装入轴向插槽内，传动轴和第一进气管上 分别设有相匹配的第一径向通孔和第二径向通 孔，第二进气管的出气口位于第一径向通孔一 侧，炉体与真空机构连通，并与电控系统连接，本 发明通过传动机构驱动旋转坩埚在转动条件下 A 进行高温烧结，烧结效率高；传动机构直接与旋 0 转坩埚相连，避免了通过滚轴传动造成的动能流 4 8