一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116240514 A (43)申请公布日 2023.06.09 (21)申请号 202310086066.6 (22)申请日 2023.01.16 (71)申请人 深圳天成真空技术有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区松岗街 道潭头西部工业园区B35栋 (72)发明人 陈春奇　 (74)专利代理机构 深圳市国亨知识产权代理事 务所(普通合伙) 44733 专利代理师 李夏宏 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置 (57)摘要 本发明涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤 其是一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置，包括安 装板，安装板的顶部安装有旋转密封机构，旋转 密封机构包括轴承座、储水筒、空心轴和进水组 件；轴承座固定安装在安装板的顶部，储水筒固 定安装在轴承座的顶部，空心轴的底端与储水筒 转动连接、且与储水筒内部接通，进水组件固定 安装在空心轴的顶端；安装板的底部安装有冷热 转换机构、以对供应水进行加热和冷却。本发明 可以快速实现加热组件和冷却组件的切换，无需 对加热组件和冷却组件进行拆装 ，操作过程简 单。 A 4 1 5 0 4 2 6 1 1 N C CN 11