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固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法和电子设备

2023-06-23 07:04:07 发布于四川 0

申请专利号：CN201980036312.9
公开（公告）日：2024-11-19
公开（公告）号：CN112204745A
申请人：索尼半导体解决方案公司

摘要：本发明提供了能够抑制第一和第二半导体基板的接合平面处的接合强度的变化的固态摄像装置。该固态摄像装置包括：设置有多个第一导体的第一半导体基板；和接合到第一半导体基板并形成有多个第二导体的第二半导体基板。该固态摄像装置被构造为使得第一半导体基板和第二半导体基板之间的接合面具有：第一导体和第二导体彼此重叠的区域、形成在第一导体上的第一绝缘膜和第二导体彼此重叠的区域、形成在第二导体上的第二绝缘膜和第一导体彼此重叠的区域以及第一绝缘膜和第二绝缘膜彼此重叠的区域。该固态摄像装置还被构造为使得在第一和第二半导体基板的接合前后，第一和第二绝缘膜的接合面积相对于第一和第二半导体基板的接合面积的比例是恒定的。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112204745 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 201980036312.9 (74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 (22)申请日 2019.06.03 代理人曹正建　陈桂香 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2018-107747 2018.06.05 JP H01L 27/146 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/3205 (2006.01) 2020.11.27 H01L 21/768 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 23/522 (2006.01) PCT/JP2019/021900 2019.06.03 H04N 5/369 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2019/235400 JA 20

固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法和电子设备

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