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PCT发明

抛光组合物及其使用方法

2023-07-03 10:56:27 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202180002187.7
  • 公开（公告）日：2021-12-03
  • 公开（公告）号：CN113748179A
  • 申请人：富士胶片电子材料美国有限公司
摘要：本发明提供一种抛光组合物，包括至少一种研磨剂；至少一种第一腐蚀抑制剂，其包括磷酸酯基或膦酸酯基；至少一种络合剂；至少一种第二腐蚀抑制剂，其为至少一种唑类化合物；及可选的pH调节剂。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113748179 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202180002187.7 (74)专利代理机构 北京博思佳知识产权代理有 限公司 11415 (22)申请日 2021.03.29 代理人 艾佳 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 63/002,537 2020.03.31 US C09G 1/02 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/321 (2006.01) 2021.08.17 B44C 1/22 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2021/024592 2021.03.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/202342 EN 2021.10.07 (71)申请人 富士胶片电子材料美国有限公司 地址 美国罗得岛州 (72)发明人 詹姆斯

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