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PCT发明

衬底处理装置和方法

2023-05-15 11:31:49 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080081951.X
  • 公开（公告）日：2024-11-15
  • 公开（公告）号：CN114746576A
  • 申请人：皮考逊公司
摘要：一种衬底处理装置，包括：反应室，用于处理衬底；光子源，用于向所述反应室提供来自所述反应室的顶侧的光子；衬底支撑件，用于支撑所述衬底；化学品入口，用于为所述反应室提供反应性化学品；以及化学品出口，用于从所述反应室排出气体，所述化学品出口包括将所述反应室与周围空间分离的表面。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114746576 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202080081951.X (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2020.11.25 专利代理师 董莘 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 20196029 2019.11.28 FI C23C 16/455 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/44 (2006.01) 2022.05.25 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/FI2020/050793 2020.11.25 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/105560 EN 2021.06.03 (71)申请人 皮考逊公司 地址 芬兰埃斯波 (72)发明人 T ·瓦哈-奥哈拉　V ·基尔皮　 N ·霍尔姆　T ·马利南　

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