电火花合成催化剂的声悬浮CVD制备碳材料一体化装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114988388 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210647835.0 (22)申请日 2022.06.08 (71)申请人 电子科技大学 地址 610000 四川省成都市高新区(西区) 西源大道2006号 (72)发明人 刘一凡　王健　简贤　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 专利代理师 刘锋 (51)Int.Cl. C01B 32/05 (2017.01) C23C 16/26 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 电火花合成催化剂的声悬浮CVD制备碳材料 一体化装置 (57)摘要 本发明的实施例提供了一种电火花合成催 化剂的声悬浮CVD制备碳材料一体化装置，涉及 化学气相沉积技术领域。包括CVD炉和超声悬浮 装置，CVD炉用于含碳元素气体在催化剂气溶胶 的作用下制备碳材料，超声悬浮装置安装于所述 CVD炉，超声悬浮装置可使催化剂气溶胶中的颗 粒悬浮在所述CVD炉内。本申请通过在CVD炉安装 超声悬浮装置，利用超声悬浮装置产生的驻波原 理克服催化剂气溶胶中颗粒物的重力，可以让催 化剂气溶胶中的颗粒能够悬浮在CVD炉内，从而 可以增大含碳元素气体与催化剂气容胶中颗粒 A 物的接触面积，提高催化效率，有利于碳材料的 8 制备。同时，也可以