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设置有背栅的三维快闪存储器

2023-06-18 07:23:06 发布于四川 2
  • 申请专利号:CN202180001835.7
  • 公开(公告)日:2025-06-27
  • 公开(公告)号:CN114097082A
  • 申请人:汉阳大学校产学协力团|||培迪塞有限责任公司
摘要:本发明公开设置有背栅的三维快闪存储器。根据一实施例,本发明的特征在于,三维快闪存储器包括:多个字线,在基板上沿着水平方向延伸而成并依次层叠;以及多个串,贯通上述多个字线来在上述基板上沿着一方向延伸而成,上述多个串分别包括通道层以及电荷储存层,上述通道层沿着上述一方向延伸而成,上述电荷储存层以包围上述通道层的方式沿着上述一方向延伸而成,上述通道层以及上述电荷储存层形成与上述多个字线相对应的多个存储单元,上述通道层包括:背栅,以至少一部分被上述通道层包围的状态沿着上述一方向延伸而成;以及绝缘膜,在上述背栅与上述通道层之间沿着上述一方向延伸而成。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114097082 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202180001835.7 (72)发明人 宋润洽 宋昌垠  (22)申请日 2021.04.29 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 (30)优先权数据 代理人 延美花 臧建明 10-2020-0076115 2020.06.23 KR 10-2020-0096526 2020.08.03 KR (51)Int.Cl. 10-2020-0132388 2020.10.14 KR H01L 27/11578 (2017.01) H01L 27/115 (2017.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.07.09 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/KR2021/005428 2021.04.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/261744 KO 2021.12.30 (71)申请人 汉阳大学校产学协力团 地址 韩国首尔市 申请人 培迪塞有限责任公司

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