PCT发明

激光照射装置

2023-05-09 11:39:04 发布于四川 0

申请专利号：CN202080067619.8
公开（公告）日：2024-11-05
公开（公告）号：CN114466723A
申请人：丰晃公司

摘要：本发明提供一种抑制异物附着于光学元件的激光照射装置。将激光照射装置设为包括射出光学系统(10、20、30)和保护构件(70)的结构，射出光学系统(10、20、30)形成激光振荡器所产生的激光在预定的聚束点(BS)处聚集的光束(B)，并且使光束的照射方向等连续地变化，保护构件(70)设于射出光学系统和聚束点之间，保护射出光学系统不受从照射对象物侧飞散的异物的影响，并且具有供光束通过的开口(71)，与光束的照射方向等的变化连动以使开口的位置位于光束的路径上。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114466723 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202080067619.8 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 (22)申请日 2020.08.31 专利代理师刘新宇　张会华 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-177161 2019.09.27 JP B23K 26/064 (2014.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B23K 26/066 (2014.01) 2022.03.25 B23K 26/082 (2014.01) (86)PCT国际申请的申请数据 B23K 26/16 (2006.01) PCT/JP2020/032821 2020.08.31 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/059872 JA 2021.04.01 (7

激光照射装置

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