一种附带原料气均匀电离功能的单晶金刚石生长设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117779181 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202311648344.9 (22)申请日 2023.12.05 (71)申请人 上海征世科技股份有限公司 地址 201799 上海市青浦区华浦路500号2 幢西侧 (72)发明人 满卫东　范冰庆　伍正新　 (74)专利代理机构 上海邦德专利代理事务所 (普通合伙) 31312 专利代理师 梁剑 (51)Int.Cl. C30B 25/00 (2006.01) C30B 29/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图7页 (54)发明名称 一种附带原料气均匀电离功能的单晶金刚 石生长设备 (57)摘要 本发明公开了一种附带原料气均匀电离功 能的单晶金刚石生长设备，涉及单晶金刚石制备 技术领域，该生长设备包括进料仓与进料床，进 料仓内上设置有进料盘，进料盘与进料仓滑动连 接，进料盘上设置有升降架，升降架上设置有升 降气缸，升降气缸输出端上设置有合成架，进料 仓上设置有合成仓，合成仓上设置有合成管，合 成管上设置有微波发生器，合成仓内设置有加压 仓，加压仓内设置有控压组件，合成架上设置有 托举台，托举台上设置有多个探针组，每个探针 组分别与托举台滑动连接，合成仓底端设置有多 A 个密封板，每个密封板分别与合成仓滑动连接， 1 加压仓内设置有排气管，排气管与加压仓连通， 8 1 9 本发明具有自动加压以原料气