一种具有改善POU寿命的钨抛光液及其应用

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115011257 A (43)申请公布日 2022.09.06 (21)申请号 202210768461.8 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 万华化学集团电子材料有限公司 地址 264006 山东省烟台市经济技术开发 区北京中路50号 申请人 万华化学集团股份有限公司 (72)发明人 王瑞芹　崔晓坤　卞鹏程　王庆伟　 徐贺　李国庆　王永东　卫旻嵩　 (51)Int.Cl. C09G 1/02 (2006.01) C23F 3/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 (54)发明名称 一种具有改善POU寿命的钨抛光液及其应用 (57)摘要 本发明公开了一种具有改善POU寿命的钨抛 光液及其应用，所述钨抛光液包括二氧化硅磨 料、硝酸铁、氧化剂、稳定剂、表面活性剂和水，其 中，稳定剂包括有机酸类的第一稳定剂和环状螯 合剂类的第二稳定剂。本发明中两种稳定剂配合 使用，使抛光液在POU具有改善的稳定性，同时减 少因稳定性不佳导致的颗粒团聚，从而使被抛光 表面的表面质量大幅度提升。 A 7 5 2 1 1 0 5 1 1 N C CN 115011257 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种钨化学机械抛光液，其特征在于，包括二氧化硅磨料、硝酸铁、氧化剂、稳定剂、 表面活性剂和水，其中，所述稳